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九峰山实验室
化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
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形貌表征
微纳平台
芯运微半导体
半导体代工高新技术企业,MEMS器件研发与制造
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光刻图形
刻蚀腐蚀
浙江芯动科技有限公司
6英寸MEMS芯片加工封测一站式服务,含薄膜沉积/光刻/干法刻蚀/湿法腐蚀/晶圆键合/TSV工艺,嘉兴
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特色工艺
苏州硅时代
位于苏州纳米城的MEMS一站式解决专家,提供传感器、生物MEMS、光学及射频MEMS全流程代工
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特色工艺
苏州工业园区纳米产业技术研究院(MEMSRIGHT)
国内首个商业化6英寸MEMS中试量产平台,硅基MEMS/铌酸锂/PZT工艺研发/中试/量产,年产60000晶圆
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特色工艺
深圳微佳半导体
MEMS材料生产商和技术服务商,支持4/6/8英寸晶圆微纳加工,覆盖传感器、光电子、微流控等领域
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特色工艺
微晶材料
微晶/纳米材料科研与加工服务
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特色工艺
中芯启恒
微流控芯片实验室整体解决方案,PDMS/PMMA/玻璃/COC芯片量产代工
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特色工艺
烯成新材料
石墨烯CVD生长系统及石墨烯转移/测试解决方案
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特色工艺
广东纳米智造产业创新中心
微纳技术研发与科研项目共建,提供微纳加工公共服务平台
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特色工艺
芯联集成
国内领先特色工艺系统代工厂,提供IGBT、MEMS、模拟IC...
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拼单代工
流片代工
聚图半导体
MEMS一体化解决方案,深硅刻蚀/键合/微流控等工艺
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减薄划片
刻蚀腐蚀
上海工研院(SITRI)
全国首条8英寸超越摩尔研发中试线,提供MEMS/硅光/生物芯...
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拼单代工
流片代工
成都高投芯未半导体
功率半导体(IGBT)一站式代工与中试服务,成都首个对外开放功率半导体中试平台,背面加工+模块封测
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特色工艺
之江实验室微纳加工平台
109台工艺设备,薄膜铌酸锂/薄片加工/倒装贴片等特色工艺,自主上机/委托加工/委托开发模式
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