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SPTS Technologies (KLA旗下)
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SPTS Technologies (KLA旗下)
英国半导体设备商(已被KLA收购),提供DRIE刻蚀、PVD和PECVD设备,面向MEMS/先进封装/功率半导体
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英国半导体设备商(已被KLA收购),提供DRIE刻蚀、PVD和PECVD设备,面向MEMS/先进封装/功率半导体
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