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苏州工业园区纳米产业技术研究院(MEMSRIGHT)

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国内首个商业化6英寸MEMS中试量产平台，硅基MEMS/铌酸锂/PZT工艺研发/中试/量产，年产60000晶圆

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国内首个商业化6英寸MEMS中试量产平台，硅基MEMS/铌酸锂/PZT工艺研发/中试/量产，年产60000晶圆

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