常州柔希电子科技有限公司

纳米材料供应商，石墨烯/二维材料等科研材料

MEMS微纳加工，深硅刻蚀/TSV通孔等核心工艺

科研级定制化CVD设备，碳化硅外延与新材料制备

10000㎡超净实验室，300+台套设备，GaN-HEMT/Ga2O3/AlN等化合物半导体工艺+MEMS+光电子

国内最大MEMS纯代工厂，掌握硅通孔、晶圆键合、深反应离子刻蚀等核心技术，已量产硅麦克风、BAW滤波器

位于苏州纳米城的MEMS一站式解决专家，提供传感器、生物MEMS、光学及射频MEMS全流程代工

物理法绿色批量制备高质量石墨烯粉体

微纳领域科研开发引导者，提供MEMS代加工、单步工艺、综合器件及生物芯片加工服务