流片管家

EBL电子束曝光代工(最小线宽<10nm)、步进式光刻代工(NIKON)、晶圆键合代工(阳极/共晶/临时)、薄膜沉积/刻蚀/清洗全流程

GaN Plus 3DIC全流程工艺平台，拥有完整PDK开放型代工，面向Micro-LED/HEMT/航天/量子计算等，5000m2洁净室，60台生产系统

MEMS芯片加工/小批量代工/设计仿真，苏州工业园区，面向科研及产业化

半导体代工高新技术企业，MEMS器件研发与制造

8寸MEMS产线，深硅刻蚀/晶圆键合/划片/薄膜沉积/光刻全流程代工，西安

国内首个商业化6英寸MEMS中试量产平台，硅基MEMS/铌酸锂/PZT工艺研发/中试/量产，年产60000晶圆

半导体/材料/电子领域技术咨询与一站式科技服务

MEMS流片代工，十余年代工经验，合作众多高校院所

高端MEMS传感器定制开发流片，6寸MEMS产线，擅长生物微流控芯片、柔性PI脑机接口神经电极、超表面/超透镜、PMUT

MEMS一站式解决专家，4/6/8英寸芯片代加工全工艺

MEMS一体化解决方案，深硅刻蚀/键合/微流控等工艺

MEMS设计加工定制，微细加工服务及半导体材料供应