上海右研科技有限责任公司
光刻版/掩膜版定制服务(最小线宽0.6微米，2-9英寸，最大...
排序
上海垦芯电子科技有限公司
EBL电子束曝光代工(最小线宽<10nm)、步进式光刻代工(NIKON)、晶圆键合代工(阳极/共晶/临时)、薄膜沉积/刻蚀/清洗全流程
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心
综合性半导体工艺技术加工平台，1700平米超净工艺线，提供光...
上海奥麦达微电子(光刻)
提供6寸DUV/KrF光刻(180nm线宽)、电子束光刻、硅光/氮化硅/铌酸锂流片服务，面向高校科研小批量
南方科技大学微纳加工平台
微纳工艺研发平台，NanoBeam电子束曝光机/SUSS紫外曝光机/ALD/磁控溅射/ICP刻蚀/RIE/快速退火，面向科研服务
旭量光学
飞秒激光直写系统、UV直写光刻系统、光谱测量系统，提供系统选型、样品验证和工艺开发支持
深圳微纳电子科技有限公司
微纳代加工服务(光刻/热氧化/离子注入/镀膜沉积/刻蚀/晶圆键合/CMP/快速退火)，电子束光刻最小50nm，步进式光刻350nm，接触式光刻1um
烟台魔技纳米科技有限公司
超快激光微纳加工、无掩膜光刻、三维微纳加工/纳米3D打印代工服务，面向生物医学/微纳光学/光电通信等多领域
北京米欧光电科技有限公司
光掩膜版及镀铬掩膜版/金属掩膜版设计制作销售，微电子产品及光掩膜技术周边服务
中微掩模
0.13μm及以上高端集成电路掩模生产，高新技术企业
北京华诺恒宇光能科技有限公司
金属掩膜版(不锈钢/钽片)激光切割定制，最小10um精度，掩...
天津华诺普锐斯科技有限公司
激光精密微纳加工代工，金属掩膜版/蒸镀掩膜版/电极掩膜版定制...
新顺鑫
掩膜版定制加工
华盛光刻
光刻版制作与图形化服务
江苏优众微纳半导体科技有限公司
纳米压印技术微纳器件一站式方案，20000平米Fab工厂(湿法/清洗/光刻/纳米压印/镀膜/CMP/刻蚀)，微纳结构光栅/超透镜/微透镜阵列/生物检测芯片