光刻图形

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芯运微半导体

半导体代工高新技术企业，MEMS器件研发与制造

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光刻图形刻蚀腐蚀

松山湖微纳加工平台

8英寸MEMS加工线，面向高校院所开展中试代工

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光刻图形刻蚀腐蚀

中慧芯

微纳加工/MEMS器件设计加工，面向高校科研机构

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光刻图形减薄划片

河南微纳半导体

MEMS设计加工定制，微细加工服务及半导体材料供应

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光刻图形流片代工

上海交通大学先进电子材料与器件平台(AEMD)

覆盖电子束/KrF/双面光刻、磁控溅射/电子束蒸发/LPCVD薄膜、深硅/离子束/湿法刻蚀、晶圆键合、铜镍电镀、离子注入、氧化扩散、CMP全流程，支持4-8寸晶圆微纳器件制造

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