芯辉半导体
MEMS流片代工，十余年代工经验，合作众多高校院所
排序
上海右研科技有限责任公司
光刻版/掩膜版定制服务(最小线宽0.6微米，2-9英寸，最大...
上海交通大学先进电子材料与器件平台(AEMD)
覆盖电子束/KrF/双面光刻、磁控溅射/电子束蒸发/LPCVD薄膜、深硅/离子束/湿法刻蚀、晶圆键合、铜镍电镀、离子注入、氧化扩散、CMP全流程，支持4-8寸晶圆微纳器件制造
旭量光学
飞秒激光直写系统、UV直写光刻系统、光谱测量系统，提供系统选型、样品验证和工艺开发支持
苏州晶溯微纳科技
苏州晶溯微纳科技有限公司是一家专注于MEMS器件设计与代工、器件封装、快速制版、测试服务及半导体材料销售的公司，并提供相关技术咨询服务。 公司拥有强大的MEMS设计与加工实力，拥有成熟的光刻、刻蚀、镀膜、键合、封装、测试等微纳加工技术。公司设备精良，性能卓越，能够开展多工艺合作开发，实现高效评估与高质量实施。同时，公司全流程收集实验数据，实施精细流程管理，提供优质服务。