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松山湖微纳加工平台
8英寸MEMS加工线,面向高校院所开展中试代工
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光刻图形
刻蚀腐蚀
广东纳米智造产业创新中心
微纳技术研发与科研项目共建,提供微纳加工公共服务平台
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特色工艺
新越半导体
MEMS代工服务
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特色工艺
无锡星创半导体有限公司
MEMS代工(光刻/镀膜/刻蚀/电镀/外延掺杂退火/封装/测试)、柔性电极/微孔纳米孔/微流道器件/MEMS传感器定制
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特色工艺
启朴芯微
MEMS微纳加工,深硅刻蚀/TSV通孔等核心工艺
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光刻图形
刻蚀腐蚀
启芯微纳
MEMS微纳加工服务
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流片代工
特色工艺
北芯微纳
MEMS工艺代加工,科研材料供应商与代工服务
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光刻图形
刻蚀腐蚀
博研微纳
专注MEMS开发制造加工,一站式微纳加工服务
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光刻图形
减薄划片
交大MEMS团队
非硅微纳集成制造技术,微流体/传感/生物MEMS器件研发
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特色工艺
众芯坚亥半导体技术(安徽)有限公司
泛半导体工艺代工,全工序薄膜电路代工及分工艺代工(精密激光打孔开槽/溅射/电镀Cu/Ni/Au/化镀镍钯金),Class100洁净线
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特色工艺
凯珀纳米
半导体工艺服务与MEMS芯片代工
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特色工艺
之江实验室微纳加工平台
109台工艺设备,薄膜铌酸锂/薄片加工/倒装贴片等特色工艺,自主上机/委托加工/委托开发模式
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特色工艺
中慧芯
微纳加工/MEMS器件设计加工,面向高校科研机构
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光刻图形
减薄划片
中北大学微纳加工中心
4英寸MEMS工艺线,光刻/刻蚀/镀膜/键合/掺杂/电镀全流程,面向高校科研提供工艺代工服务
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特色工艺
中国科学院苏州纳米所纳米加工平台
10000平米超净实验室,300台套设备,微纳加工/检测/封装一体化,允许用户独立操作和自主研发
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特色工艺
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