松山湖微纳加工平台

提供IBE/DRIE/RIE/ICP/FIB等多种刻蚀代工及镀膜、光刻等微纳加工服务

半导体金属化工艺服务

金属掩膜版(不锈钢/钽片)激光切割定制，最小10um精度，掩...

提供4-12英寸全自动扩散/氧化/退火炉及LPCVD设备，服务科研与量产

提供柔性电子线路板级增材制造平台，PI/PET/玻璃等多基材电子印刷加工

国家级MPW服务平台，自2003年起联合中芯、华虹、华力、和舰等十余家晶圆厂提供14nm~0.5μm MPW流片服务

微晶/纳米材料科研与加工服务

提供半导体材料、电子及信息技术领域技术咨询与科技服务，面向科研用户