优选苏州原位芯片
苏州原位芯片以全自研MEMS芯片为核心技术壁垒，凭借领先的从芯片到模组的全栈自研开发能力，推出国内首创的药液微量泵送模组和医用液体流量传感模组，为医疗行业的智能化变革注入新动力。
排序
启朴芯微
MEMS微纳加工，深硅刻蚀/TSV通孔等核心工艺
中慧芯
微纳加工/MEMS器件设计加工，面向高校科研机构
苏州芯墨电子(刻蚀)
提供光刻/刻蚀/镀膜等MEMS微纳加工服务，面向高校科研小批量
清华大学微纳加工中心
清华大学微纳加工中心
北京三和联科技有限公司
国产等离子体刻蚀设备与PECVD系统自研厂商，科研级PECVD/刻蚀设备，服务高校科研
微纳飞
微纳飞科技位于国际化创新城市深圳，团队成员毕业于北京大学、清华大学、南京大学等高等学府，具有丰富的微纳器件研发和产业化经验。公司专注于新型微纳器件的定制设计开发、工艺验证、外协加工，以专业、严谨、高效的精神，精细化的全流程管理，为国内外合作伙伴提供高水平的技术服务与解决方案。
上海羿淳科技(刻蚀代工)
提供干法刻蚀(ICP/RIE)、湿法腐蚀等刻蚀代工服务，面向高校科研小批量MEMS器件加工
硅时代
MEMS一站式解决专家，4/6/8英寸芯片代加工全工艺
芯智联半导体(上海)有限公司
一站式微纳加工代工，涵盖光刻/刻蚀/镀膜/键合/外延/切割/电镀/封装全流程，支持高校科研小批量
松山湖微纳加工平台
8英寸MEMS加工线，面向高校院所开展中试代工
博研微纳
专注MEMS开发制造加工，一站式微纳加工服务
极智芯(北京)科技有限公司
提供RIE/ICP/IBE刻蚀设备及工艺代工，PECVD薄膜沉积，服务高校科研
苏州佳尔敏微纳科技有限公司(苏州博研)
提供IBE/DRIE/RIE/ICP/FIB等多种刻蚀代工及镀膜、光刻等微纳加工服务
深圳微纳电子(刻蚀代工)
提供干法刻蚀(ICP/RIE)、湿法刻蚀等刻蚀代工服务，面向高校科研小批量
广东工业大学微纳加工平台
半导体微纳加工研发及服务平台，配备光刻机/电子束曝光机/电镜，覆盖光刻/镀膜/刻蚀/扩散/测试全流程，支持10nm以下芯片制备