广东工业大学微纳加工平台

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半导体微纳加工研发及服务平台,配备光刻机/电子束曝光机/电镜,覆盖光刻/镀膜/刻蚀/扩散/测试全流程,支持10nm以下芯片制备

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4周前更新 22 00

半导体微纳加工研发及服务平台,配备光刻机/电子束曝光机/电镜,覆盖光刻/镀膜/刻蚀/扩散/测试全流程,支持10nm以下芯片制备

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