芯智联半导体(上海)有限公司

提供干法刻蚀(ICP/RIE)、湿法腐蚀等刻蚀代工服务，面向高校科研小批量MEMS器件加工

微纳加工/MEMS器件设计加工，面向高校科研机构

清华大学微纳加工中心

国产等离子体刻蚀设备与PECVD系统自研厂商，科研级PECVD/刻蚀设备，服务高校科研

提供晶圆级电镀、清洗及TGV刻蚀加工服务，覆盖6/8/12寸晶圆

8英寸MEMS加工线，面向高校院所开展中试代工

半导体微纳加工研发及服务平台，配备光刻机/电子束曝光机/电镜，覆盖光刻/镀膜/刻蚀/扩散/测试全流程，支持10nm以下芯片制备

提供光刻/刻蚀/镀膜等MEMS微纳加工服务，面向高校科研小批量