极智芯(北京)科技有限公司

提供光刻/刻蚀/镀膜等MEMS微纳加工服务，面向高校科研小批量

国产等离子体刻蚀设备与PECVD系统自研厂商，科研级PECVD/刻蚀设备，服务高校科研

清华大学微纳加工中心

MEMS工艺代加工，科研材料供应商与代工服务

专注MEMS开发制造加工，一站式微纳加工服务

MEMS一体化解决方案，深硅刻蚀/键合/微流控等工艺

微纳飞科技位于国际化创新城市深圳，团队成员毕业于北京大学、清华大学、南京大学等高等学府，具有丰富的微纳器件研发和产业化经验。公司专注于新型微纳器件的定制设计开发、工艺验证、外协加工，以专业、严谨、高效的精神，精细化的全流程管理，为国内外合作伙伴提供高水平的技术服务与解决方案。

提供干法刻蚀(ICP/RIE)、湿法刻蚀等刻蚀代工服务，面向高校科研小批量