苏州佳尔敏微纳科技有限公司(苏州博研)

清华大学微纳加工中心

提供光刻/刻蚀/镀膜等MEMS微纳加工服务，面向高校科研小批量

半导体微纳加工研发及服务平台，配备光刻机/电子束曝光机/电镜，覆盖光刻/镀膜/刻蚀/扩散/测试全流程，支持10nm以下芯片制备

专注于泛半导体材料的研发生产与销售

MEMS工艺代加工，科研材料供应商与代工服务

专注MEMS开发制造加工，一站式微纳加工服务

提供干法刻蚀(ICP/RIE)、湿法刻蚀等刻蚀代工服务，面向高校科研小批量

提供RIE/ICP/IBE刻蚀设备及工艺代工，PECVD薄膜沉积，服务高校科研