深圳微纳电子(刻蚀代工)
提供干法刻蚀(ICP/RIE)、湿法刻蚀等刻蚀代工服务，面向高校科研小批量
排序
芯辉半导体
MEMS流片代工，十余年代工经验，合作众多高校院所
极智芯(北京)科技有限公司
提供RIE/ICP/IBE刻蚀设备及工艺代工，PECVD薄膜沉积，服务高校科研
松山湖微纳加工平台
8英寸MEMS加工线，面向高校院所开展中试代工
北京三和联科技有限公司
国产等离子体刻蚀设备与PECVD系统自研厂商，科研级PECVD/刻蚀设备，服务高校科研
上海羿淳科技(刻蚀代工)
提供干法刻蚀(ICP/RIE)、湿法腐蚀等刻蚀代工服务，面向高校科研小批量MEMS器件加工
上海芯津半导体有限公司
提供半导体材料、电子及信息技术领域技术咨询与科技服务，面向科研用户
硅时代
MEMS一站式解决专家，4/6/8英寸芯片代加工全工艺