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非硅微纳集成制造技术，微流体/传感/生物MEMS器件研发
排序
北芯微纳
MEMS工艺代加工，科研材料供应商与代工服务
博研微纳
专注MEMS开发制造加工，一站式微纳加工服务
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MEMS微纳加工，深硅刻蚀/TSV通孔等核心工艺
新越半导体
MEMS代工服务
无锡星创半导体有限公司
MEMS代工(光刻/镀膜/刻蚀/电镀/外延掺杂退火/封装/测试)、柔性电极/微孔纳米孔/微流道器件/MEMS传感器定制
松山湖微纳加工平台
8英寸MEMS加工线，面向高校院所开展中试代工
广东纳米智造产业创新中心
微纳技术研发与科研项目共建，提供微纳加工公共服务平台
河南微纳半导体
MEMS设计加工定制，微细加工服务及半导体材料供应
浙江芯动科技有限公司
6英寸MEMS芯片加工封测一站式服务，含薄膜沉积/光刻/干法刻蚀/湿法腐蚀/晶圆键合/TSV工艺，嘉兴
聚图半导体
MEMS一体化解决方案，深硅刻蚀/键合/微流控等工艺
昆山工研院第三代半导体研究院(ITRISEMI)
第三代半导体外延代工、晶圆代工、封装代工、测量服务、工艺短流...
深圳市纳微传感科技有限公司
高端MEMS传感器定制开发流片，6寸MEMS产线，擅长生物微流控芯片、柔性PI脑机接口神经电极、超表面/超透镜、PMUT
硅时代
MEMS一站式解决专家，4/6/8英寸芯片代加工全工艺