宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)
建有宽禁带半导体超净工艺研发线，可满足化合物半导体器件制备
排序
硅及先进半导体材料全国重点实验室(浙大)
依托浙江大学，聚焦硅及先进半导体材料研究
自旋芯片与技术全国重点实验室（北京航空航天大学）
依托北航，围绕新型微电子器件与集成电路技术，设微纳科学与分析测试协同创新中心
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研制成功国内第一颗基于SOI材料的0.13um工艺大规模高可靠专用集成电路ASIC芯片，应用于北斗导航卫星等国家关键工程，为我国航天核心元器件的自主可控奠定坚实基础。
集成光电子学国家重点实验室（吉林大学实验区）
吉林大学与中科院半导体所联合组成，1991年正式对外开放，连续三次获评优秀实验室
集成电路与微系统全国重点实验室
中国电科旗下，聚焦集成电路与微系统，发布开放基金课题
高功率半导体激光国家重点实验室
高功率半导体激光国家重点实验室-长春理工大学