中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
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官方中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台，提供纳米器件加工和表征服务，对外开放
广东中科半导体微纳制造技术研究院（广东微纳院）
佛山市政府与中科院苏州纳米所共建，8英寸中试线月产5000片，累计服务超300家客户
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研制成功国内第一颗基于SOI材料的0.13um工艺大规模高可靠专用集成电路ASIC芯片，应用于北斗导航卫星等国家关键工程，为我国航天核心元器件的自主可控奠定坚实基础。
中科院苏州纳米所公共技术服务中心
纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放，提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
上海微技术工业研究院(SITRI)
全国首条8英寸超越摩尔研发中试线，提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
集成光电子学国家重点实验室（吉林大学实验区）
吉林大学与中科院半导体所联合组成，1991年正式对外开放，连续三次获评优秀实验室
中国科学院半导体研究所
中科院下属半导体领域综合性研究机构，下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室