中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心
2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台，1700㎡超净...
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中科院半导体所
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中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
九峰山实验室
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中国电科十三所(产业基础研究院)
半导体核心电子器件骨干研究单位，从材料到封装全链条，有中试能力