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微纳平台
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高校微纳
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官方
中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台,提供纳米器件加工和表征服务,对外开放
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院所中试
高校微纳
高功率半导体激光国家重点实验室
高功率半导体激光国家重点实验室-长春理工大学
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院所中试
中北大学电子测试技术国家重点实验室
拥有1100㎡微纳加工平台,提供光刻、刻蚀、封装测试等全流程对外服务,仪器设备可共享
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院所中试
北京大学微纳加工实验室
校级开放平台,配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备
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高校微纳
陕西光电子先导院
化合物半导体外延片中试平台,提供工艺开发和中试验证服务
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微纳平台
特色工艺
湖南大学大型仪器共享平台
校级大型仪器设备公共平台,含半导体和微纳加工相关设备
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大仪共享
兰州大学大型仪器共享管理平台
兰州大学校级大型仪器开放共享管理平台,面向教学科研和社会服务
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大仪共享
光电子材料与器件全国重点实验室
依托中科院半导体所,覆盖InP/GaAs/GaSb/硅基等材...
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微纳平台
院所中试
浙江大学大型仪器共享平台
浙江大学大型仪器共享平台
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微纳平台
薄膜沉积
国家芯火双创(上海)基地
工信部批准建设的集成电路双创基地,提供MPW服务和IP设计支持
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院所中试
中国科学院半导体研究所
中科院下属半导体领域综合性研究机构,下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室
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院所中试
江苏省科技资源统筹服务平台
江苏省大型仪器共享平台,含半导体相关设备
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大仪共享
半导体集成技术工程研究中心
中科院半导体所建设的综合性半导体工艺技术加工平台,拥有1700㎡超净工艺线,面向所内外开放
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院所中试
厦门大学微纳加工测试公共服务支撑平台
厦大最完备的微纳加工和测试平台,洁净室近1000㎡,可实现8英寸晶圆30nm特征尺寸加工
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高校微纳
浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院
聚焦宽禁带半导体材料与器件,杨德仁院士担任首席科学家,涵盖材料生长、功率芯片、封装测试全链
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院所中试
厦门大学微纳加工测试仪器共享平台
洁净室近1200平方米,可完成8英寸芯片、30nm特征尺寸微纳加工
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高校微纳
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