官方中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台，提供纳米器件加工和表征服务，对外开放
排序
高功率半导体激光国家重点实验室
高功率半导体激光国家重点实验室-长春理工大学
中北大学电子测试技术国家重点实验室
拥有1100㎡微纳加工平台，提供光刻、刻蚀、封装测试等全流程对外服务，仪器设备可共享
北京大学微纳加工实验室
校级开放平台，配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备
陕西光电子先导院
化合物半导体外延片中试平台，提供工艺开发和中试验证服务
湖南大学大型仪器共享平台
校级大型仪器设备公共平台，含半导体和微纳加工相关设备
兰州大学大型仪器共享管理平台
兰州大学校级大型仪器开放共享管理平台，面向教学科研和社会服务
光电子材料与器件全国重点实验室
依托中科院半导体所，覆盖InP/GaAs/GaSb/硅基等材...
浙江大学大型仪器共享平台
浙江大学大型仪器共享平台
国家芯火双创(上海)基地
工信部批准建设的集成电路双创基地，提供MPW服务和IP设计支持
中国科学院半导体研究所
中科院下属半导体领域综合性研究机构，下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室
江苏省科技资源统筹服务平台
江苏省大型仪器共享平台，含半导体相关设备
半导体集成技术工程研究中心
中科院半导体所建设的综合性半导体工艺技术加工平台，拥有1700㎡超净工艺线，面向所内外开放
厦门大学微纳加工测试公共服务支撑平台
厦大最完备的微纳加工和测试平台，洁净室近1000㎡，可实现8英寸晶圆30nm特征尺寸加工
浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院
聚焦宽禁带半导体材料与器件，杨德仁院士担任首席科学家，涵盖材料生长、功率芯片、封装测试全链
厦门大学微纳加工测试仪器共享平台
洁净室近1200平方米，可完成8英寸芯片、30nm特征尺寸微纳加工