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    微纳平台

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    高校微纳院所中试大仪共享
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    中科院苏州纳米所

    官方中科院苏州纳米所

    建有微纳加工平台,提供纳米器件加工和表征服务,对外开放
    1160
    院所中试高校微纳
    北京大学大型仪器共享管理平台

    北京大学大型仪器共享管理平台

    含微纳加工实验室,1700余台大型仪器纳入共享平台
    650
    大仪共享
    南京邮电大学大型仪器共享平台

    南京邮电大学大型仪器共享平台

    含飞秒激光微纳加工系统等设备,面向校内外开放共享
    1220
    高校微纳
    湖南大学大型仪器共享平台

    湖南大学大型仪器共享平台

    校级大型仪器设备公共平台,含半导体和微纳加工相关设备
    580
    大仪共享
    江苏省科技资源统筹服务平台

    江苏省科技资源统筹服务平台

    江苏省大型仪器共享平台,含半导体相关设备
    1170
    大仪共享
    中国电科十三所(产业基础研究院)

    中国电科十三所(产业基础研究院)

    半导体核心电子器件骨干研究单位,从材料到封装全链条,有中试能力
    530
    院所中试
    半导体集成技术工程研究中心

    半导体集成技术工程研究中心

    中科院半导体所建设的综合性半导体工艺技术加工平台,拥有1700㎡超净工艺线,面向所内外开放
    570
    院所中试
    华中科技大学集成电路与系统中心

    华中科技大学集成电路与系统中心

    华中地区最大IC科研单位之一,有完善数字/模拟电路设计平台和测试平台
    880
    院所中试
    中山大学光电材料与技术国重实验室

    中山大学光电材料与技术国重实验室

    聚焦纳米光子技术和发光显示材料,有半导体光电器件研究能力
    900
    院所中试
    苏州市科技创新券服务平台

    苏州市科技创新券服务平台

    苏州市研发资源共享平台,含60967台大型仪器设备开放共享
    700
    大仪共享
    兰州大学大型仪器共享管理平台

    兰州大学大型仪器共享管理平台

    兰州大学校级大型仪器开放共享管理平台,面向教学科研和社会服务
    1360
    大仪共享
    陕西光电子先导院

    陕西光电子先导院

    化合物半导体外延片中试平台,提供工艺开发和中试验证服务
    730
    微纳平台特色工艺
    光电子材料与器件全国重点实验室

    光电子材料与器件全国重点实验室

    依托中科院半导体所,覆盖InP/GaAs/GaSb/硅基等材...
    820
    微纳平台院所中试
    南方科技大学深港微电子学院

    南方科技大学深港微电子学院

    聚焦化合物半导体和微纳器件研究,有微纳加工和测试能力
    460
    院所中试
    中科院半导体所宽禁带半导体研发中心

    中科院半导体所宽禁带半导体研发中心

    拥有1500㎡超净工艺环境及完整III-V族化合物MOCVD...
    660
    微纳平台院所中试
    广东微纳院微纳加工中试平台

    广东微纳院微纳加工中试平台

    超净实验室约14000㎡,面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
    720
    院所中试
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