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微纳平台
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院所中试
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官方
中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台,提供纳米器件加工和表征服务,对外开放
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院所中试
高校微纳
北京大学大型仪器共享管理平台
含微纳加工实验室,1700余台大型仪器纳入共享平台
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大仪共享
南京邮电大学大型仪器共享平台
含飞秒激光微纳加工系统等设备,面向校内外开放共享
122
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高校微纳
湖南大学大型仪器共享平台
校级大型仪器设备公共平台,含半导体和微纳加工相关设备
58
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大仪共享
江苏省科技资源统筹服务平台
江苏省大型仪器共享平台,含半导体相关设备
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大仪共享
中国电科十三所(产业基础研究院)
半导体核心电子器件骨干研究单位,从材料到封装全链条,有中试能力
53
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院所中试
半导体集成技术工程研究中心
中科院半导体所建设的综合性半导体工艺技术加工平台,拥有1700㎡超净工艺线,面向所内外开放
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院所中试
华中科技大学集成电路与系统中心
华中地区最大IC科研单位之一,有完善数字/模拟电路设计平台和测试平台
88
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院所中试
中山大学光电材料与技术国重实验室
聚焦纳米光子技术和发光显示材料,有半导体光电器件研究能力
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院所中试
苏州市科技创新券服务平台
苏州市研发资源共享平台,含60967台大型仪器设备开放共享
70
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大仪共享
兰州大学大型仪器共享管理平台
兰州大学校级大型仪器开放共享管理平台,面向教学科研和社会服务
136
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大仪共享
陕西光电子先导院
化合物半导体外延片中试平台,提供工艺开发和中试验证服务
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微纳平台
特色工艺
光电子材料与器件全国重点实验室
依托中科院半导体所,覆盖InP/GaAs/GaSb/硅基等材...
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微纳平台
院所中试
南方科技大学深港微电子学院
聚焦化合物半导体和微纳器件研究,有微纳加工和测试能力
46
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院所中试
中科院半导体所宽禁带半导体研发中心
拥有1500㎡超净工艺环境及完整III-V族化合物MOCVD...
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微纳平台
院所中试
广东微纳院微纳加工中试平台
超净实验室约14000㎡,面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
72
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院所中试
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