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微纳平台
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中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台,提供纳米器件加工和表征服务,对外开放
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院所中试
高校微纳
中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
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微纳平台
院所中试
浙江大学大型仪器共享平台
浙江大学大型仪器共享平台
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微纳平台
薄膜沉积
甘肃大仪网(甘肃省大型科研仪器共享平台)
甘肃省科技基础条件平台,推动重大科研基础设施和大型科研仪器向社会开放共享
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大仪共享
上海集成电路研发中心(ICCD)
国家级集成电路研发中心,建12寸开放式中试线和专业测试实验室
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院所中试
宽禁带半导体器件与集成技术全国重点实验室(西电)
依托西安电子科技大学,聚焦宽禁带半导体器件研发,有超净工艺线
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院所中试
华进半导体封装先导技术研发中心
国家级封测先导技术研发中心,提供2.5D/3D封装和晶圆级封装服务
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键合封装
院所中试
高功率半导体激光国家重点实验室
高功率半导体激光国家重点实验室-长春理工大学
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院所中试
九峰山实验室
化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
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形貌表征
微纳平台
宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)
建有宽禁带半导体超净工艺研发线,可满足化合物半导体器件制备
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院所中试
南方科技大学深港微电子学院
聚焦化合物半导体和微纳器件研究,有微纳加工和测试能力
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院所中试
半导体集成技术工程研究中心
中科院半导体所建设的综合性半导体工艺技术加工平台,拥有1700㎡超净工艺线,面向所内外开放
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院所中试
宽禁带半导体超越照明材料与技术全国重点实验室
聚焦化合物半导体光电子器件研发与中试,位于北京经开区前沿科技...
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微纳平台
院所中试
北京大学大型仪器共享管理平台
含微纳加工实验室,1700余台大型仪器纳入共享平台
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大仪共享
湖北星辰技术中试平台
高密度集成封装中试平台,面向AI算力芯片提供先进封装服务
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院所中试
国家第三代半导体技术创新中心(苏州)
聚焦第三代半导体技术,提供研发到中试全链条服务
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院所中试
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