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半导体集成技术工程研究中心
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半导体集成技术工程研究中心
中科院半导体所建设的综合性半导体工艺技术加工平台,拥有1700㎡超净工艺线,面向所内外开放
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中科院半导体所建设的综合性半导体工艺技术加工平台,拥有1700㎡超净工艺线,面向所内外开放
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中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
高功率半导体激光国家重点实验室
高功率半导体激光国家重点实验室-长春理工大学
中科院半导体所
下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力
国家第三代半导体技术创新中心(苏州)
聚焦第三代半导体技术,提供研发到中试全链条服务
上海微技术工业研究院(SITRI)
全国首条8英寸超越摩尔研发中试线,提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
官方
中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台,提供纳米器件加工和表征服务,对外开放
上海集成电路研发中心(ICCD)
国家级集成电路研发中心,建12寸开放式中试线和专业测试实验室
中科院苏州纳米所公共技术服务中心
纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放,提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
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