中科院苏州纳米所公共技术服务中心
纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放，提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
数据统计
相关导航
湖北星辰技术中试平台
高密度集成封装中试平台，面向AI算力芯片提供先进封装服务
上海微技术工业研究院(SITRI)
全国首条8英寸超越摩尔研发中试线，提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
国家芯火双创(上海)基地
工信部批准建设的集成电路双创基地，提供MPW服务和IP设计支持
上海集成电路研发中心(ICCD)
国家级集成电路研发中心，建12寸开放式中试线和专业测试实验室
固体微结构物理国家重点实验室（南京大学）
国家首批投资建设的国重之一，聚焦微结构材料设计与量子调控，连续6次评估优秀
广东中科半导体微纳制造技术研究院（广东微纳院）
佛山市政府与中科院苏州纳米所共建，8英寸中试线月产5000片，累计服务超300家客户
香港微电子研发院(MRDI)
香港特区政府成立，建设第三代半导体试产中试线，面向初创企业开放