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广东中科半导体微纳制造技术研究院(广东微纳院)
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广东中科半导体微纳制造技术研究院(广东微纳院)
佛山市政府与中科院苏州纳米所共建,8英寸中试线月产5000片,累计服务超300家客户
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佛山市政府与中科院苏州纳米所共建,8英寸中试线月产5000片,累计服务超300家客户
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中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心
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华中科技大学集成电路与系统中心
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官方
中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台,提供纳米器件加工和表征服务,对外开放
中科院苏州纳米所公共技术服务中心
纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放,提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
上海微技术工业研究院(SITRI)
全国首条8英寸超越摩尔研发中试线,提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
高功率半导体激光国家重点实验室
高功率半导体激光国家重点实验室-长春理工大学
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