清华大学微纳加工中心
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广东微纳院微纳加工中试平台
超净实验室约14000㎡，面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
广东中科半导体微纳制造技术研究院（广东微纳院）
佛山市政府与中科院苏州纳米所共建，8英寸中试线月产5000片，累计服务超300家客户
南京邮电大学大型仪器共享平台
含飞秒激光微纳加工系统等设备，面向校内外开放共享
中北大学电子测试技术国家重点实验室
拥有1100㎡微纳加工平台，提供光刻、刻蚀、封装测试等全流程对外服务，仪器设备可共享
中国科学院半导体研究所
中科院下属半导体领域综合性研究机构，下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室
中科院半导体所
下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力
华东师范大学微纳加工中心
依托物理与电子科学学院，含百级和千级洁净空间，提供自主上机或...