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浙大校级公共服务平台,1200㎡含百级/千级洁净区,服务校内25个院系及校外近两百家企事业单位
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宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)
建有宽禁带半导体超净工艺研发线,可满足化合物半导体器件制备
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苏州原位芯片
苏州原位芯片以全自研MEMS芯片为核心技术壁垒,凭借领先的从芯片到模组的全栈自研开发能力,推出国内首创的药液微量泵送模组和医用液体流量传感模组,为医疗行业的智能化变革注入新动力。
苏州芯默科技有限公司
晶圆多点控温式快速退火炉(RTP)技术,提供晶圆退火代工及设备改造服务,苏州工业园区
官方
中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台,提供纳米器件加工和表征服务,对外开放
华进半导体封装先导技术研发中心
国家级封测先导技术研发中心,提供2.5D/3D封装和晶圆级封装服务
上海微技术工业研究院(SITRI)
全国首条8英寸超越摩尔研发中试线,提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
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