半导体集成技术工程研究中心
中科院半导体所建设的综合性半导体工艺技术加工平台，拥有1700㎡超净工艺线，面向所内外开放
数据统计
相关导航
硅及先进半导体材料全国重点实验室(浙大)
依托浙江大学，聚焦硅及先进半导体材料研究
中国科学院半导体研究所
中科院下属半导体领域综合性研究机构，下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室
中山大学光电材料与技术国重实验室
聚焦纳米光子技术和发光显示材料，有半导体光电器件研究能力
中科院半导体所
下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力
广东微纳院微纳加工平台（超净环境共享服务）
提供超净环境共享、工艺设备共享及半导体器件微纳加工工艺培训，立足佛山辐射粤港澳大湾区
中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心
2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台，1700㎡超净...