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    院所中试

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    高校微纳院所中试大仪共享
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    中科院苏州纳米所

    官方中科院苏州纳米所

    建有微纳加工平台,提供纳米器件加工和表征服务,对外开放
    1160
    院所中试高校微纳
    九峰山实验室

    九峰山实验室

    化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
    700
    形貌表征微纳平台
    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    依托复旦大学,面向集成电路设计与系统,开放运行
    680
    院所中试
    南方科技大学深港微电子学院

    南方科技大学深港微电子学院

    聚焦化合物半导体和微纳器件研究,有微纳加工和测试能力
    460
    院所中试
    光电子材料与器件全国重点实验室

    光电子材料与器件全国重点实验室

    依托中科院半导体所,覆盖InP/GaAs/GaSb/硅基等材...
    820
    微纳平台院所中试
    中科院苏州纳米所公共技术服务中心

    中科院苏州纳米所公共技术服务中心

    纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放,提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
    1020
    院所中试
    宽禁带半导体器件与集成技术全国重点实验室(西电)

    宽禁带半导体器件与集成技术全国重点实验室(西电)

    依托西安电子科技大学,聚焦宽禁带半导体器件研发,有超净工艺线
    570
    院所中试
    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台,1700㎡超净...
    800
    大仪共享微纳平台
    固体微结构物理国家重点实验室(南京大学)

    固体微结构物理国家重点实验室(南京大学)

    国家首批投资建设的国重之一,聚焦微结构材料设计与量子调控,连续6次评估优秀
    690
    院所中试
    中科院半导体所

    中科院半导体所

    下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力
    830
    院所中试
    国家第三代半导体技术创新中心(苏州)

    国家第三代半导体技术创新中心(苏州)

    聚焦第三代半导体技术,提供研发到中试全链条服务
    560
    院所中试
    集成电路与微系统全国重点实验室

    集成电路与微系统全国重点实验室

    中国电科旗下,聚焦集成电路与微系统,发布开放基金课题
    560
    院所中试
    中国电科十三所(产业基础研究院)

    中国电科十三所(产业基础研究院)

    半导体核心电子器件骨干研究单位,从材料到封装全链条,有中试能力
    530
    院所中试
    中科院半导体所宽禁带半导体研发中心

    中科院半导体所宽禁带半导体研发中心

    拥有1500㎡超净工艺环境及完整III-V族化合物MOCVD...
    660
    微纳平台院所中试
    中国科学院半导体研究所

    中国科学院半导体研究所

    中科院下属半导体领域综合性研究机构,下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室
    730
    院所中试
    华中科技大学集成电路与系统中心

    华中科技大学集成电路与系统中心

    华中地区最大IC科研单位之一,有完善数字/模拟电路设计平台和测试平台
    880
    院所中试
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