中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

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2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台,1700㎡超净工艺线,面向所内外开放

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2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台,1700㎡超净工艺线,面向所内外开放

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