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含飞秒激光微纳加工系统等设备,面向校内外开放共享
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华东师大公共创新服务平台
含微纳加工中心,对接上海市研发公共服务平台和长三角科技资源
深圳技术大学半导体微纳加工中心
粤港澳大湾区高校中少数具备完整工艺能力的微纳芯片制造公共服务平台
北京大学微纳加工实验室
校级开放平台,配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
微纳加工测试仪器共享平台,近3000㎡实验场地,54台30万元以上设备,面向校内外开放
中南大学微纳加工与器件制造平台
校级大型仪器共享平台,提供超净间使用及大型仪器独立操作服务
浙江大学大型仪器共享平台
浙江大学大型仪器共享平台
官方
中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台,提供纳米器件加工和表征服务,对外开放
厦门大学微纳加工测试仪器共享平台
洁净室近1200平方米,可完成8英寸芯片、30nm特征尺寸微纳加工
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