南京邮电大学大型仪器共享平台

浙江大学大型仪器共享平台

校级大型仪器共享平台，提供超净间使用及大型仪器独立操作服务

清华大学大型仪器共享服务平台

校级开放平台，配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备

覆盖微纳加工、芯片设计、射频测试等全场景，面向校内外开放

清华大学微纳加工中心

厦大最完备的微纳加工和测试平台，洁净室近1000㎡，可实现8英寸晶圆30nm特征尺寸加工