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清华大学信息国家研究中心微纳加工平台
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清华大学信息国家研究中心微纳加工平台
超净实验室1800㎡,各类设备200余台套,资产约3.5亿元,7天24小时开放服务
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含微纳加工中心,对接上海市研发公共服务平台和长三角科技资源
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
微纳加工测试仪器共享平台,近3000㎡实验场地,54台30万元以上设备,面向校内外开放
厦门大学微纳加工测试仪器共享平台
洁净室近1200平方米,可完成8英寸芯片、30nm特征尺寸微纳加工
深圳技术大学半导体微纳加工中心
粤港澳大湾区高校中少数具备完整工艺能力的微纳芯片制造公共服务平台
电子科技大学大型仪器开放共享平台
覆盖微纳加工、芯片设计、射频测试等全场景,面向校内外开放
南京邮电大学大型仪器共享平台
含飞秒激光微纳加工系统等设备,面向校内外开放共享
华东师范大学微纳加工中心
依托物理与电子科学学院,含百级和千级洁净空间,提供自主上机或...
官方
中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台,提供纳米器件加工和表征服务,对外开放
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