北京大学微纳加工实验室

覆盖微纳加工、芯片设计、射频测试等全场景，面向校内外开放

清华大学微纳加工中心

洁净室近1200平方米，可完成8英寸芯片、30nm特征尺寸微纳加工

清华大学大型仪器共享服务平台

依托物理与电子科学学院，含百级和千级洁净空间，提供自主上机或...

浙江大学大型仪器共享平台

超净实验室1800㎡，各类设备200余台套，资产约3.5亿元，7天24小时开放服务

厦大最完备的微纳加工和测试平台，洁净室近1000㎡，可实现8英寸晶圆30nm特征尺寸加工