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北京大学微纳加工实验室
校级开放平台,配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备
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校级开放平台,配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备
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华东师大公共创新服务平台
含微纳加工中心,对接上海市研发公共服务平台和长三角科技资源
深圳技术大学半导体微纳加工中心
粤港澳大湾区高校中少数具备完整工艺能力的微纳芯片制造公共服务平台
清华大学大型仪器共享服务平台
清华大学大型仪器共享服务平台
厦门大学微纳加工测试仪器共享平台
洁净室近1200平方米,可完成8英寸芯片、30nm特征尺寸微纳加工
清华大学微纳加工中心
清华大学微纳加工中心
官方
中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台,提供纳米器件加工和表征服务,对外开放
中南大学微纳加工与器件制造平台
校级大型仪器共享平台,提供超净间使用及大型仪器独立操作服务
清华大学信息国家研究中心微纳加工平台
超净实验室1800㎡,各类设备200余台套,资产约3.5亿元,7天24小时开放服务
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