华东师大公共创新服务平台

洁净室近1200平方米，可完成8英寸芯片、30nm特征尺寸微纳加工

覆盖微纳加工、芯片设计、射频测试等全场景，面向校内外开放

浙江大学大型仪器共享平台

校级开放平台，配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备

含飞秒激光微纳加工系统等设备，面向校内外开放共享

厦大最完备的微纳加工和测试平台，洁净室近1000㎡，可实现8英寸晶圆30nm特征尺寸加工

依托物理与电子科学学院，含百级和千级洁净空间，提供自主上机或...

超净实验室1800㎡，各类设备200余台套，资产约3.5亿元，7天24小时开放服务