清华大学大型仪器共享服务平台

校级开放平台，配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备

面向校内外开放的仪器共享平台，含微电子和半导体相关设备

兰州大学校级大型仪器开放共享管理平台，面向教学科研和社会服务

脱胎中科院半导体所，整合550+高校院所实验室资源，提供电镜检测、材料分析、微纳加工等一站式服务

2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台，1700㎡超净...

纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放，提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式

中科院下属半导体领域综合性研究机构，下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室

浙江大学大型仪器共享平台