清华大学大型仪器共享服务平台

下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力

重大科研基础设施和大型科研仪器国家网络管理平台

甘肃省科技基础条件平台，推动重大科研基础设施和大型科研仪器向社会开放共享

江苏省大型仪器共享平台，含半导体相关设备

依托北航，围绕新型微电子器件与集成电路技术，设微纳科学与分析测试协同创新中心

国家级集成电路研发中心，建12寸开放式中试线和专业测试实验室

含微纳加工中心，对接上海市研发公共服务平台和长三角科技资源

拥有1100㎡微纳加工平台，提供光刻、刻蚀、封装测试等全流程对外服务，仪器设备可共享