上海集成电路研发中心(ICCD)
国家级集成电路研发中心，建12寸开放式中试线和专业测试实验室
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官方中科院苏州纳米所
建有微纳加工平台，提供纳米器件加工和表征服务，对外开放
广东微纳院微纳加工中试平台
超净实验室约14000㎡，面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研制成功国内第一颗基于SOI材料的0.13um工艺大规模高可靠专用集成电路ASIC芯片，应用于北斗导航卫星等国家关键工程，为我国航天核心元器件的自主可控奠定坚实基础。
高功率半导体激光国家重点实验室
高功率半导体激光国家重点实验室-长春理工大学
广东微纳院微纳加工平台（超净环境共享服务）
提供超净环境共享、工艺设备共享及半导体器件微纳加工工艺培训，立足佛山辐射粤港澳大湾区
宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)
建有宽禁带半导体超净工艺研发线，可满足化合物半导体器件制备
中国科学院半导体研究所
中科院下属半导体领域综合性研究机构，下辖光电子材料与器件、半导体芯片物理与技术等多个全国重点实验室