中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
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全国首条8英寸超越摩尔研发中试线，提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
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半导体核心电子器件骨干研究单位，从材料到封装全链条，有中试能力
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集成电路与微系统全国重点实验室
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依托北航，围绕新型微电子器件与集成电路技术，设微纳科学与分析测试协同创新中心