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    院所中试

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    高校微纳院所中试大仪共享
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    浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院

    浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院

    聚焦宽禁带半导体材料与器件,杨德仁院士担任首席科学家,涵盖材料生长、功率芯片、封装测试全链
    230
    院所中试
    中科院半导体所

    中科院半导体所

    下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力
    210
    院所中试
    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台,1700㎡超净...
    260
    大仪共享微纳平台
    宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)

    宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)

    建有宽禁带半导体超净工艺研发线,可满足化合物半导体器件制备
    240
    院所中试
    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    依托复旦大学,面向集成电路设计与系统,开放运行
    200
    院所中试
    固体微结构物理国家重点实验室(南京大学)

    固体微结构物理国家重点实验室(南京大学)

    国家首批投资建设的国重之一,聚焦微结构材料设计与量子调控,连续6次评估优秀
    180
    院所中试
    集成光电子学国家重点实验室(吉林大学实验区)

    集成光电子学国家重点实验室(吉林大学实验区)

    吉林大学与中科院半导体所联合组成,1991年正式对外开放,连续三次获评优秀实验室
    250
    院所中试
    硅及先进半导体材料全国重点实验室(浙大)

    硅及先进半导体材料全国重点实验室(浙大)

    依托浙江大学,聚焦硅及先进半导体材料研究
    240
    院所中试
    半导体集成技术工程研究中心

    半导体集成技术工程研究中心

    中科院半导体所建设的综合性半导体工艺技术加工平台,拥有1700㎡超净工艺线,面向所内外开放
    220
    院所中试
    湖北星辰技术中试平台

    湖北星辰技术中试平台

    高密度集成封装中试平台,面向AI算力芯片提供先进封装服务
    230
    院所中试
    九峰山实验室

    九峰山实验室

    化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
    260
    形貌表征微纳平台
    广东微纳院微纳加工平台(超净环境共享服务)

    广东微纳院微纳加工平台(超净环境共享服务)

    提供超净环境共享、工艺设备共享及半导体器件微纳加工工艺培训,立足佛山辐射粤港澳大湾区
    200
    院所中试
    中北大学电子测试技术国家重点实验室

    中北大学电子测试技术国家重点实验室

    拥有1100㎡微纳加工平台,提供光刻、刻蚀、封装测试等全流程对外服务,仪器设备可共享
    220
    院所中试
    南方科技大学深港微电子学院

    南方科技大学深港微电子学院

    聚焦化合物半导体和微纳器件研究,有微纳加工和测试能力
    220
    院所中试
    光电子材料与器件全国重点实验室

    光电子材料与器件全国重点实验室

    依托中科院半导体所,覆盖InP/GaAs/GaSb/硅基等材...
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    微纳平台院所中试
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