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    院所中试

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    高校微纳院所中试大仪共享
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    集成电路与微系统全国重点实验室

    集成电路与微系统全国重点实验室

    中国电科旗下,聚焦集成电路与微系统,发布开放基金课题
    220
    院所中试
    华进半导体封装先导技术研发中心

    华进半导体封装先导技术研发中心

    国家级封测先导技术研发中心,提供2.5D/3D封装和晶圆级封装服务
    250
    键合封装院所中试
    中科院半导体所科研部门

    中科院半导体所科研部门

    含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
    230
    微纳平台院所中试
    宽禁带半导体器件与集成技术全国重点实验室(西电)

    宽禁带半导体器件与集成技术全国重点实验室(西电)

    依托西安电子科技大学,聚焦宽禁带半导体器件研发,有超净工艺线
    220
    院所中试
    广东微纳院微纳加工平台(超净环境共享服务)

    广东微纳院微纳加工平台(超净环境共享服务)

    提供超净环境共享、工艺设备共享及半导体器件微纳加工工艺培训,立足佛山辐射粤港澳大湾区
    210
    院所中试
    上海微技术工业研究院(SITRI)

    上海微技术工业研究院(SITRI)

    全国首条8英寸超越摩尔研发中试线,提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
    300
    院所中试
    宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)

    宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)

    建有宽禁带半导体超净工艺研发线,可满足化合物半导体器件制备
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