院所中试

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南方科技大学深港微电子学院

聚焦化合物半导体和微纳器件研究，有微纳加工和测试能力

470

宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)

建有宽禁带半导体超净工艺研发线，可满足化合物半导体器件制备

750

上海集成电路研发中心(ICCD)

国家级集成电路研发中心，建12寸开放式中试线和专业测试实验室

790

国家第三代半导体技术创新中心(苏州)

聚焦第三代半导体技术，提供研发到中试全链条服务

560

广东微纳院微纳加工平台（超净环境共享服务）

提供超净环境共享、工艺设备共享及半导体器件微纳加工工艺培训，立足佛山辐射粤港澳大湾区

820

中国电科十三所(产业基础研究院)

半导体核心电子器件骨干研究单位，从材料到封装全链条，有中试能力

550

华进半导体封装先导技术研发中心

国家级封测先导技术研发中心，提供2.5D/3D封装和晶圆级封装服务

810

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