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集成电路与微系统全国重点实验室
中国电科旗下,聚焦集成电路与微系统,发布开放基金课题
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院所中试
华进半导体封装先导技术研发中心
国家级封测先导技术研发中心,提供2.5D/3D封装和晶圆级封装服务
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键合封装
院所中试
中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
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微纳平台
院所中试
宽禁带半导体器件与集成技术全国重点实验室(西电)
依托西安电子科技大学,聚焦宽禁带半导体器件研发,有超净工艺线
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院所中试
广东微纳院微纳加工平台(超净环境共享服务)
提供超净环境共享、工艺设备共享及半导体器件微纳加工工艺培训,立足佛山辐射粤港澳大湾区
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院所中试
上海微技术工业研究院(SITRI)
全国首条8英寸超越摩尔研发中试线,提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
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院所中试
宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)
建有宽禁带半导体超净工艺研发线,可满足化合物半导体器件制备
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