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    微纳平台

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    高校微纳院所中试大仪共享
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    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    依托复旦大学,面向集成电路设计与系统,开放运行
    690
    院所中试
    陕西光电子先导院

    陕西光电子先导院

    化合物半导体外延片中试平台,提供工艺开发和中试验证服务
    740
    微纳平台特色工艺
    广东微纳院微纳加工平台(超净环境共享服务)

    广东微纳院微纳加工平台(超净环境共享服务)

    提供超净环境共享、工艺设备共享及半导体器件微纳加工工艺培训,立足佛山辐射粤港澳大湾区
    820
    院所中试
    浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院

    浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院

    聚焦宽禁带半导体材料与器件,杨德仁院士担任首席科学家,涵盖材料生长、功率芯片、封装测试全链
    890
    院所中试
    中南大学微纳加工与器件制造平台

    中南大学微纳加工与器件制造平台

    校级大型仪器共享平台,提供超净间使用及大型仪器独立操作服务
    1230
    高校微纳# 中南大学大仪共享平台# 仪器实时预约# 仪器设备共享网络
    仪器信息网

    仪器信息网

    国内领先的科学仪器行业门户网站,提供仪器查询、检测服务对接与行业资讯
    590
    大仪共享
    上海集成电路研发中心(ICCD)

    上海集成电路研发中心(ICCD)

    国家级集成电路研发中心,建12寸开放式中试线和专业测试实验室
    790
    院所中试
    上海微技术工业研究院(SITRI)

    上海微技术工业研究院(SITRI)

    全国首条8英寸超越摩尔研发中试线,提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
    1800
    院所中试
    清华大学信息国家研究中心微纳加工平台

    清华大学信息国家研究中心微纳加工平台

    超净实验室1800㎡,各类设备200余台套,资产约3.5亿元,7天24小时开放服务
    01240
    高校微纳
    清华大学大型仪器共享服务平台

    清华大学大型仪器共享服务平台

    清华大学大型仪器共享服务平台
    01560
    大仪共享微纳平台
    科学谷大型仪器分析测试平台

    科学谷大型仪器分析测试平台

    基于互联网的分析测试服务平台,整合仪器资源、人才资源与技术成果提供共享服务
    890
    大仪共享
    浙江大学大型仪器共享平台

    浙江大学大型仪器共享平台

    浙江大学大型仪器共享平台
    01380
    微纳平台薄膜沉积
    集成电路与微系统全国重点实验室

    集成电路与微系统全国重点实验室

    中国电科旗下,聚焦集成电路与微系统,发布开放基金课题
    560
    院所中试
    武汉大学大型仪器设备开放共享网络平台

    武汉大学大型仪器设备开放共享网络平台

    武汉大学校级平台,50万元及以上大型科学仪器全部入网,注册用户超3000人
    530
    大仪共享
    集成光电子学国家重点实验室(吉林大学实验区)

    集成光电子学国家重点实验室(吉林大学实验区)

    吉林大学与中科院半导体所联合组成,1991年正式对外开放,连续三次获评优秀实验室
    670
    院所中试
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