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微纳平台
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高校微纳
院所中试
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专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)
依托复旦大学,面向集成电路设计与系统,开放运行
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院所中试
陕西光电子先导院
化合物半导体外延片中试平台,提供工艺开发和中试验证服务
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微纳平台
特色工艺
广东微纳院微纳加工平台(超净环境共享服务)
提供超净环境共享、工艺设备共享及半导体器件微纳加工工艺培训,立足佛山辐射粤港澳大湾区
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院所中试
浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院
聚焦宽禁带半导体材料与器件,杨德仁院士担任首席科学家,涵盖材料生长、功率芯片、封装测试全链
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院所中试
中南大学微纳加工与器件制造平台
校级大型仪器共享平台,提供超净间使用及大型仪器独立操作服务
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高校微纳
# 中南大学大仪共享平台
# 仪器实时预约
# 仪器设备共享网络
仪器信息网
国内领先的科学仪器行业门户网站,提供仪器查询、检测服务对接与行业资讯
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大仪共享
上海集成电路研发中心(ICCD)
国家级集成电路研发中心,建12寸开放式中试线和专业测试实验室
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院所中试
上海微技术工业研究院(SITRI)
全国首条8英寸超越摩尔研发中试线,提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务
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院所中试
清华大学信息国家研究中心微纳加工平台
超净实验室1800㎡,各类设备200余台套,资产约3.5亿元,7天24小时开放服务
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高校微纳
清华大学大型仪器共享服务平台
清华大学大型仪器共享服务平台
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大仪共享
微纳平台
科学谷大型仪器分析测试平台
基于互联网的分析测试服务平台,整合仪器资源、人才资源与技术成果提供共享服务
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大仪共享
浙江大学大型仪器共享平台
浙江大学大型仪器共享平台
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微纳平台
薄膜沉积
集成电路与微系统全国重点实验室
中国电科旗下,聚焦集成电路与微系统,发布开放基金课题
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院所中试
武汉大学大型仪器设备开放共享网络平台
武汉大学校级平台,50万元及以上大型科学仪器全部入网,注册用户超3000人
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大仪共享
集成光电子学国家重点实验室(吉林大学实验区)
吉林大学与中科院半导体所联合组成,1991年正式对外开放,连续三次获评优秀实验室
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院所中试
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