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微纳平台
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中科院苏州纳米所公共技术服务中心
纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放,提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
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院所中试
陕西光电子先导院
化合物半导体外延片中试平台,提供工艺开发和中试验证服务
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微纳平台
特色工艺
江苏省科技资源统筹服务平台
江苏省大型仪器共享平台,含半导体相关设备
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大仪共享
国家网络管理平台
重大科研基础设施和大型科研仪器国家网络管理平台
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大仪共享
中科院半导体所
下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力
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院所中试
武汉大学大型仪器设备开放共享网络平台
武汉大学校级平台,50万元及以上大型科学仪器全部入网,注册用户超3000人
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大仪共享
清华大学微纳加工中心
清华大学微纳加工中心
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刻蚀腐蚀
微纳平台
# 清华大学微纳加工中心
国家芯火双创(上海)基地
工信部批准建设的集成电路双创基地,提供MPW服务和IP设计支持
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院所中试
四川省分析测试服务中心
四川省大型科学仪器共享平台的运营方,提供分析测试与仪器共享服务
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大仪共享
山东省大型科学仪器设备共享平台
山东省仪器共享平台,含半导体检测和加工设备
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大仪共享
中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心
2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台,1700㎡超净...
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大仪共享
微纳平台
华进半导体封装先导技术研发中心
国家级封测先导技术研发中心,提供2.5D/3D封装和晶圆级封装服务
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键合封装
院所中试
九峰山实验室
化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
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形貌表征
微纳平台
中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
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微纳平台
院所中试
清华大学信息国家研究中心微纳加工平台
超净实验室1800㎡,各类设备200余台套,资产约3.5亿元,7天24小时开放服务
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