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    微纳平台

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    高校微纳院所中试大仪共享
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    中科院苏州纳米所公共技术服务中心

    中科院苏州纳米所公共技术服务中心

    纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放,提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
    240
    院所中试
    陕西光电子先导院

    陕西光电子先导院

    化合物半导体外延片中试平台,提供工艺开发和中试验证服务
    210
    微纳平台特色工艺
    江苏省科技资源统筹服务平台

    江苏省科技资源统筹服务平台

    江苏省大型仪器共享平台,含半导体相关设备
    200
    大仪共享
    国家网络管理平台

    国家网络管理平台

    重大科研基础设施和大型科研仪器国家网络管理平台
    210
    大仪共享
    中科院半导体所

    中科院半导体所

    下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力
    210
    院所中试
    武汉大学大型仪器设备开放共享网络平台

    武汉大学大型仪器设备开放共享网络平台

    武汉大学校级平台,50万元及以上大型科学仪器全部入网,注册用户超3000人
    210
    大仪共享
    清华大学微纳加工中心

    清华大学微纳加工中心

    清华大学微纳加工中心
    0570
    刻蚀腐蚀微纳平台# 清华大学微纳加工中心
    国家芯火双创(上海)基地

    国家芯火双创(上海)基地

    工信部批准建设的集成电路双创基地,提供MPW服务和IP设计支持
    190
    院所中试
    四川省分析测试服务中心

    四川省分析测试服务中心

    四川省大型科学仪器共享平台的运营方,提供分析测试与仪器共享服务
    190
    大仪共享
    山东省大型科学仪器设备共享平台

    山东省大型科学仪器设备共享平台

    山东省仪器共享平台,含半导体检测和加工设备
    230
    大仪共享
    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台,1700㎡超净...
    260
    大仪共享微纳平台
    华进半导体封装先导技术研发中心

    华进半导体封装先导技术研发中心

    国家级封测先导技术研发中心,提供2.5D/3D封装和晶圆级封装服务
    250
    键合封装院所中试
    九峰山实验室

    九峰山实验室

    化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
    260
    形貌表征微纳平台
    中科院半导体所科研部门

    中科院半导体所科研部门

    含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
    230
    微纳平台院所中试
    清华大学信息国家研究中心微纳加工平台

    清华大学信息国家研究中心微纳加工平台

    超净实验室1800㎡,各类设备200余台套,资产约3.5亿元,7天24小时开放服务
    0520
    高校微纳
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