宽禁带半导体器件与集成技术全国重点实验室(西电)
依托西安电子科技大学，聚焦宽禁带半导体器件研发，有超净工艺线
排序
集成电路与微系统全国重点实验室
中国电科旗下，聚焦集成电路与微系统，发布开放基金课题
电子科技大学大型仪器开放共享平台
覆盖微纳加工、芯片设计、射频测试等全场景，面向校内外开放
南方科技大学深港微电子学院
聚焦化合物半导体和微纳器件研究，有微纳加工和测试能力
国家芯火双创(上海)基地
工信部批准建设的集成电路双创基地，提供MPW服务和IP设计支持
中科院半导体所
下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力
华东师范大学微纳加工中心
依托物理与电子科学学院，含百级和千级洁净空间，提供自主上机或...
华进半导体封装先导技术研发中心
国家级封测先导技术研发中心，提供2.5D/3D封装和晶圆级封装服务
浙江大学大型仪器共享平台
浙江大学大型仪器共享平台
深圳技术大学半导体微纳加工中心
粤港澳大湾区高校中少数具备完整工艺能力的微纳芯片制造公共服务平台
广东微纳院微纳加工中试平台
超净实验室约14000㎡，面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
米格实验室
脱胎中科院半导体所，整合550+高校院所实验室资源，提供电镜检测、材料分析、微纳加工等一站式服务
厦门大学微纳加工测试公共服务支撑平台
厦大最完备的微纳加工和测试平台，洁净室近1000㎡，可实现8英寸晶圆30nm特征尺寸加工
专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)
依托复旦大学，面向集成电路设计与系统，开放运行
北京大学微纳加工实验室
校级开放平台，配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备