北京大学大型仪器共享管理平台
含微纳加工实验室，1700余台大型仪器纳入共享平台
排序
华东师大公共创新服务平台
含微纳加工中心，对接上海市研发公共服务平台和长三角科技资源
厦门大学微纳加工测试公共服务支撑平台
厦大最完备的微纳加工和测试平台，洁净室近1000㎡，可实现8英寸晶圆30nm特征尺寸加工
苏州市科技创新券服务平台
苏州市研发资源共享平台，含60967台大型仪器设备开放共享
电子科技大学大型仪器开放共享平台
覆盖微纳加工、芯片设计、射频测试等全场景，面向校内外开放
兰州大学大型仪器共享管理平台
兰州大学校级大型仪器开放共享管理平台，面向教学科研和社会服务
中科院苏州纳米所公共技术服务中心
纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放，提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
硅及先进半导体材料全国重点实验室(浙大)
依托浙江大学，聚焦硅及先进半导体材料研究
广东微纳院微纳加工中试平台
超净实验室约14000㎡，面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
北京大学微纳加工实验室
校级开放平台，配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备
中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
华东师范大学微纳加工中心
依托物理与电子科学学院，含百级和千级洁净空间，提供自主上机或...
高功率半导体激光国家重点实验室
高功率半导体激光国家重点实验室-长春理工大学
宽带隙半导体技术国家重点学科实验室(西电)
建有宽禁带半导体超净工艺研发线，可满足化合物半导体器件制备
清华大学大型仪器共享服务平台
清华大学大型仪器共享服务平台