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    中国电科十三所(产业基础研究院)

    中国电科十三所(产业基础研究院)

    半导体核心电子器件骨干研究单位,从材料到封装全链条,有中试能力
    550
    院所中试
    南方科技大学深港微电子学院

    南方科技大学深港微电子学院

    聚焦化合物半导体和微纳器件研究,有微纳加工和测试能力
    470
    院所中试
    北京大学大型仪器共享管理平台

    北京大学大型仪器共享管理平台

    含微纳加工实验室,1700余台大型仪器纳入共享平台
    660
    大仪共享
    甘肃大仪网(甘肃省大型科研仪器共享平台)

    甘肃大仪网(甘肃省大型科研仪器共享平台)

    甘肃省科技基础条件平台,推动重大科研基础设施和大型科研仪器向社会开放共享
    460
    大仪共享
    电子科技大学大型仪器开放共享平台

    电子科技大学大型仪器开放共享平台

    覆盖微纳加工、芯片设计、射频测试等全场景,面向校内外开放
    1090
    高校微纳
    北京大学微纳加工实验室

    北京大学微纳加工实验室

    校级开放平台,配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备
    01340
    高校微纳
    华中科技大学集成电路与系统中心

    华中科技大学集成电路与系统中心

    华中地区最大IC科研单位之一,有完善数字/模拟电路设计平台和测试平台
    880
    院所中试
    广东微纳院微纳加工中试平台

    广东微纳院微纳加工中试平台

    超净实验室约14000㎡,面向化合物芯片/MEMS/光电子器件提供8英寸中试代工服务
    740
    院所中试
    湖南大学大型仪器共享平台

    湖南大学大型仪器共享平台

    校级大型仪器设备公共平台,含半导体和微纳加工相关设备
    610
    大仪共享
    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

    2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台,1700㎡超净...
    810
    大仪共享微纳平台
    湖北星辰技术中试平台

    湖北星辰技术中试平台

    高密度集成封装中试平台,面向AI算力芯片提供先进封装服务
    710
    院所中试
    九峰山实验室

    九峰山实验室

    化合物半导体研发创新中心,提供工艺开发、中试验证和检测分析服...
    710
    形貌表征微纳平台
    中国科学院上海微系统与信息技术研究所

    中国科学院上海微系统与信息技术研究所

    研制成功国内第一颗基于SOI材料的0.13um工艺大规模高可靠专用集成电路ASIC芯片,应用于北斗导航卫星等国家关键工程,为我国航天核心元器件的自主可控奠定坚实基础。
    640
    院所中试# 中国科学院上海微系统与信息技术研究所# 微电子# 微电子机械系统
    中国科技资源共享网

    中国科技资源共享网

    国家级科技资源门户,整合大型仪器、科学数据等共享资源
    730
    大仪共享
    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦)

    依托复旦大学,面向集成电路设计与系统,开放运行
    700
    院所中试
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