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中科院苏州纳米所公共技术服务中心
纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放,提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
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院所中试
国家第三代半导体技术创新中心(苏州)
聚焦第三代半导体技术,提供研发到中试全链条服务
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院所中试
中山大学光电材料与技术国重实验室
聚焦纳米光子技术和发光显示材料,有半导体光电器件研究能力
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院所中试
清华大学信息国家研究中心微纳加工平台
超净实验室1800㎡,各类设备200余台套,资产约3.5亿元,7天24小时开放服务
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高校微纳
香港微电子研发院(MRDI)
香港特区政府成立,建设第三代半导体试产中试线,面向初创企业开放
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院所中试
华中科技大学集成电路与系统中心
华中地区最大IC科研单位之一,有完善数字/模拟电路设计平台和测试平台
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院所中试
中科院半导体所科研部门
含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
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微纳平台
院所中试
广东中科半导体微纳制造技术研究院(广东微纳院)
佛山市政府与中科院苏州纳米所共建,8英寸中试线月产5000片,累计服务超300家客户
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院所中试
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