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    微纳平台

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    高校微纳院所中试大仪共享
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    中科院苏州纳米所公共技术服务中心

    中科院苏州纳米所公共技术服务中心

    纳米加工平台面向研究所、高校和企业全方位开放,提供设备资源、研究场地、人才和技术四种开放形式
    250
    院所中试
    国家第三代半导体技术创新中心(苏州)

    国家第三代半导体技术创新中心(苏州)

    聚焦第三代半导体技术,提供研发到中试全链条服务
    190
    院所中试
    中山大学光电材料与技术国重实验室

    中山大学光电材料与技术国重实验室

    聚焦纳米光子技术和发光显示材料,有半导体光电器件研究能力
    210
    院所中试
    清华大学信息国家研究中心微纳加工平台

    清华大学信息国家研究中心微纳加工平台

    超净实验室1800㎡,各类设备200余台套,资产约3.5亿元,7天24小时开放服务
    0520
    高校微纳
    香港微电子研发院(MRDI)

    香港微电子研发院(MRDI)

    香港特区政府成立,建设第三代半导体试产中试线,面向初创企业开放
    260
    院所中试
    华中科技大学集成电路与系统中心

    华中科技大学集成电路与系统中心

    华中地区最大IC科研单位之一,有完善数字/模拟电路设计平台和测试平台
    240
    院所中试
    中科院半导体所科研部门

    中科院半导体所科研部门

    含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...
    230
    微纳平台院所中试
    广东中科半导体微纳制造技术研究院(广东微纳院)

    广东中科半导体微纳制造技术研究院(广东微纳院)

    佛山市政府与中科院苏州纳米所共建,8英寸中试线月产5000片,累计服务超300家客户
    250
    院所中试
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