北京大学微纳加工实验室
校级开放平台，配备电子束曝光、光刻、镀膜、刻蚀等微纳加工设备
排序
清华大学微纳加工中心
清华大学微纳加工中心
清华大学大型仪器共享服务平台
清华大学大型仪器共享服务平台
浙江大学大型仪器共享平台
浙江大学大型仪器共享平台
清华大学信息国家研究中心微纳加工平台
超净实验室1800㎡，各类设备200余台套，资产约3.5亿元，7天24小时开放服务
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
微纳加工测试仪器共享平台，近3000㎡实验场地，54台30万元以上设备，面向校内外开放
深圳技术大学半导体微纳加工中心
粤港澳大湾区高校中少数具备完整工艺能力的微纳芯片制造公共服务平台
厦门大学微纳加工测试仪器共享平台
洁净室近1200平方米，可完成8英寸芯片、30nm特征尺寸微纳加工
中南大学微纳加工与器件制造平台
校级大型仪器共享平台，提供超净间使用及大型仪器独立操作服务
厦门大学微纳加工测试公共服务支撑平台
厦大最完备的微纳加工和测试平台，洁净室近1000㎡，可实现8英寸晶圆30nm特征尺寸加工
华东师范大学微纳加工中心
依托物理与电子科学学院，含百级和千级洁净空间，提供自主上机或...
南京邮电大学大型仪器共享平台
含飞秒激光微纳加工系统等设备，面向校内外开放共享
电子科技大学大型仪器开放共享平台
覆盖微纳加工、芯片设计、射频测试等全场景，面向校内外开放
华东师大公共创新服务平台
含微纳加工中心，对接上海市研发公共服务平台和长三角科技资源
上海微技术工业研究院(SITRI)
全国首条8英寸超越摩尔研发中试线，提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务