中国科技资源共享网

脱胎中科院半导体所，整合550+高校院所实验室资源，提供电镜检测、材料分析、微纳加工等一站式服务

含微纳加工和半导体表征设备，面向社会开放共享

武汉大学校级平台，50万元及以上大型科学仪器全部入网，注册用户超3000人

苏州市研发资源共享平台，含60967台大型仪器设备开放共享

含微纳加工实验室，1700余台大型仪器纳入共享平台

兰州大学校级大型仪器开放共享管理平台，面向教学科研和社会服务

清华大学大型仪器共享服务平台

2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台，1700㎡超净...