苏州芯墨电子有限公司

超快激光微纳加工、无掩膜光刻、三维微纳加工/纳米3D打印代工服务，面向生物医学/微纳光学/光电通信等多领域

覆盖电子束/KrF/双面光刻、磁控溅射/电子束蒸发/LPCVD薄膜、深硅/离子束/湿法刻蚀、晶圆键合、铜镍电镀、离子注入、氧化扩散、CMP全流程，支持4-8寸晶圆微纳器件制造

EBL电子束曝光代工(最小线宽<10nm)、步进式光刻代工(NIKON)、晶圆键合代工(阳极/共晶/临时)、薄膜沉积/刻蚀/清洗全流程

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纳米压印技术微纳器件一站式方案，20000平米Fab工厂(湿法/清洗/光刻/纳米压印/镀膜/CMP/刻蚀)，微纳结构光栅/超透镜/微透镜阵列/生物检测芯片

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