原速科技SUPERALD

原子层沉积(ALD)设备制造与工艺开发，提供技术开发/特殊设备定制/批量代工服务，涵盖热式ALD/微波等离子体ALD/原子层刻蚀

专注MEMS开发制造加工，一站式微纳加工服务

半导体研发/制造/检测技术支撑，晶圆加工与IC制程服务

晶圆多点控温式快速退火炉(RTP)技术，提供晶圆退火代工及设备改造服务，苏州工业园区

离子注入代工服务，300mm晶圆中电流离子注入装置，1级无尘室，量产/研发代工及SiC注入服务

半导体全产业链代工，晶圆前道至后道全工艺含退火

电镀工艺服务，金属化代工

快速热处理RTP工艺，离子注入退火/SPIKE/氧化解决方案