派镀科技(深圳)有限公司

离子注入代工服务，300mm晶圆中电流离子注入装置，1级无尘室，量产/研发代工及SiC注入服务

提供晶圆(PVD/CVD/ALD/PLD)镀膜代工、ALD薄膜沉积(Al2O3/HfO2/ZrO2/TiO2等)、6寸DUV/KrF光刻、电子束光刻、键合、外延、掺杂等全流程加工服务，面向高校科研小批量

半导体代工高新技术企业，MEMS器件研发与制造

半导体金属化工艺

微纳加工/MEMS器件设计加工，面向高校科研机构

提供晶圆级电镀加工服务，覆盖铜/镍/金等多种金属电镀及清洗

提供4-12英寸全自动扩散/氧化/退火炉及LPCVD设备，服务科研与量产

电镀工艺服务，金属化代工