院所中试

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高校微纳院所中试大仪共享

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中科院半导体所半导体集成技术工程研究中心

2002年筹建的综合性半导体工艺技术加工平台，1700㎡超净...

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大仪共享微纳平台

中科院半导体所宽禁带半导体研发中心

拥有1500㎡超净工艺环境及完整III-V族化合物MOCVD...

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微纳平台院所中试

中科院半导体所科研部门

含半导体芯片物理与技术全国重点实验室、半导体集成技术工程研究...

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微纳平台院所中试

上海集成电路研发中心(ICCD)

国家级集成电路研发中心，建12寸开放式中试线和专业测试实验室

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中国电科十三所(产业基础研究院)

半导体核心电子器件骨干研究单位，从材料到封装全链条，有中试能力

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中科院半导体所

下属多个研究部门均具备半导体材料外延、芯片加工、封装测试等中试验证能力

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上海微技术工业研究院(SITRI)

全国首条8英寸超越摩尔研发中试线，提供MEMS/硅光/生物芯片工艺服务

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