芯华镁

提供晶圆(PVD/CVD/ALD/PLD)镀膜代工、ALD薄膜沉积(Al2O3/HfO2/ZrO2/TiO2等)、6寸DUV/KrF光刻、电子束光刻、键合、外延、掺杂等全流程加工服务，面向高校科研小批量

半导体金属化工艺

提供4-12英寸全自动扩散/氧化/退火炉及LPCVD设备，服务科研与量产

离子注入机研发制造+离子注入代工服务，中束流/大束流/高能/特种离子注入机，国产离子注入装备提供商

电镀工艺服务，金属化代工

专注MEMS开发制造加工，一站式微纳加工服务

原子层沉积(ALD)设备制造与工艺开发，提供技术开发/特殊设备定制/批量代工服务，涵盖热式ALD/微波等离子体ALD/原子层刻蚀

提供晶圆级电镀加工服务，覆盖铜/镍/金等多种金属电镀及清洗