鑫尚利

提供4-12英寸全自动扩散/氧化/退火炉及LPCVD设备，服务科研与量产

以ALD技术为核心，提供CVD等真空薄膜沉积设备与工艺，服务研发及试量产

浙江大学大型仪器共享平台

提供卧式/立式扩散氧化退火炉及LPCVD设备，服务集成电路与MEMS领域

晶圆多点控温式快速退火炉(RTP)技术，提供晶圆退火代工及设备改造服务，苏州工业园区

半导体代工高新技术企业，MEMS器件研发与制造

半导体全产业链代工，晶圆前道至后道全工艺含退火

MEMS一站式解决专家，4/6/8英寸芯片代加工全工艺