流片管家

半导体金属化工艺

离子注入代工服务，300mm晶圆中电流离子注入装置，1级无尘室，量产/研发代工及SiC注入服务

电镀工艺服务

提供晶圆级电镀加工服务，覆盖铜/镍/金等多种金属电镀及清洗

电镀工艺服务，半导体金属化

电镀工艺服务，金属化代工

晶圆级金属化与先进加工(正背面化学镀/电镀/BGBM)、封装后电镀与表面处理、传感器器件制造，上海/无锡

原子层沉积(ALD)设备制造与工艺开发，提供技术开发/特殊设备定制/批量代工服务，涵盖热式ALD/微波等离子体ALD/原子层刻蚀

以ALD技术为核心，提供CVD等真空薄膜沉积设备与工艺，服务研发及试量产

高端PVD真空镀膜技术，磁控溅射薄膜沉积代工，面向半导体/MEMS/新能源领域，提供小批量薄膜加工服务

ALD/CVD/PVD装备+代工服务，原子层沉积薄膜生长代工，面向科研及产业小批量

磁控溅射/蒸发/PECVD/ALD镀膜装备与代工，半导体/新能源等领域