微流控芯片专家汶颢股份可以加工生产所有材质微流控芯片,如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。公司业务包括微流控芯片加工、封合、处理、温控、流体驱动与控制等等,微反应器,微液滴芯片,实验室组建及应用于医疗诊断、食品安全和环境检测仪器等。0330特色工艺# PDMS批量注塑成型# 光刻胶# 匀胶机
上海交通大学先进电子材料与器件平台(AEMD)覆盖电子束/KrF/双面光刻、磁控溅射/电子束蒸发/LPCVD薄膜、深硅/离子束/湿法刻蚀、晶圆键合、铜镍电镀、离子注入、氧化扩散、CMP全流程,支持4-8寸晶圆微纳器件制造290光刻图形
上海奥麦达微电子有限公司提供晶圆(PVD/CVD/ALD/PLD)镀膜代工、ALD薄膜沉积(Al2O3/HfO2/ZrO2/TiO2等)、6寸DUV/KrF光刻、电子束光刻、键合、外延、掺杂等全流程加工服务,面向高校科研小批量280薄膜沉积